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マイクロ化総合技術センター |
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｜飯塚リサーチパーク｜ 津島工業団地｜
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■マイクロ化総合技術センター
マイクロ化総合技術センターはＬＳＩ技術に関する教育と研究を目的とするもので、国立大学では唯一の一貫したＬＳＩ試作設備を持つ教育・研究施設として、飯塚キャンパス内に設置されました。社会の高度情報化に伴う情報技術の進歩と普及はＬＳＩにも多様化の方向を求めており、これからの高度情報化社会にはこのようなＬＳＩすなわちＡＳＩＣ（特定用途型集積回路）が広く需要されるものと考えられます。そのためには素材の選択から設計、加工、システム化に至るまでシステム的見地に立ってＬＳＩ技術の全体が見渡せる情報技術者が、大量に必要とされます。センターでは学生が自らの手でＬＳＩの設計及び試作を行う教育を実施しています。今後の科学技術を牽引するマイクロ化総合技術に関する理解を深めさせ、広い視野から一層付加価値の高いマイクロシステムを開発でき、また、国際的にも活躍しうる人材の養成と創造豊かな研究開発を推進できる機関です。九州は半導体事業がますます集積しつつあり、まさに「ハイテクランド九州」の名にふさわしいものとなっております。これから半導体はますます多彩な発展をとげることでしょう。今さら申すまでもなく、わが国はアメリカで開発された半導体技術を導入しながら、一途に量産化を進めて参りました。しかし、ここに来て、創造的な開発力で遅れていることに気がつきました。今後日本が雄々しく発展して行くためには、なんとしても、最先端の半導体技術の開発を行う必要があります。さらに、この半導体技術を応用すれば従来では不可能であった各種マイクロ構造を実現できます。例えば、いわゆるマイクロマシニングといわれるもので、現在では車などに応用されているセンサーはマイクロ化技術により、高感度になるばかりでなく、インテリジェントなシステムとして作ることができます。この他にもバイオ技術や医療分野への応用なども考えられるなど、大きな潜在性を秘めています。同センターの施設は、平成６年２月に竣工し、２階建て延べ床面積１，６２０は、１階のクリーンルーム、材料作製技術室等と２階のＣＡＤ室、設計技術室、状態評価室、システム化技術室などで構成されており、ＣＡＤによるＬＳＩ設計システム、数ミクロンの加工精度のＬＳＩ製造システムを中心として、ＳＥＭ、ＴＥＭ、ＥＳＣＡなどの不良解析装置、未来型ＬＳＩ開発設備、システム化設備などが設置されています。これらの設備を生かし、産学による共同研究を事業の大きな柱として、社会人の方々を対象とした活動にも積極的に取り組んでおり、最先端技術開発の一翼を強力に担う機関として、民間企業の開発を支援していきます。
（九州工業大学内）
〒８２０ 飯塚市大字川津６８０―４
ＴＥＬ０９４８―２９―７５８５
ＦＡＸ０９４８―２９―７５８６ |
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